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什么叫四羥基氫氧化銨
什么叫四羥基氫氧化銨?四羥基氫氧化銨又被稱為氫氧化四羥基銨,英文簡(jiǎn)寫為TMAH,化學(xué)式為(CH3)4NOH。?沒有顏色全透明含有氨異味,很強(qiáng)的有機(jī)堿,PH>13,在135~150℃時(shí)徹i底溶解汽化形成三甲胺、乙醇和甲醚。非常容易與空氣中的二氧化碳反映。
TMAH的主要用途
1、做為集成電路(IC)領(lǐng)域、液晶顯示屏領(lǐng)域(TFT-LCD)、光電材料(LED)領(lǐng)域的顯影液。TMAH是一種有機(jī)堿,一方面它和無機(jī)堿一樣具備強(qiáng)偏堿,另一方面它具備其與眾不同的特點(diǎn),即在應(yīng)用全過程中不容易留有金屬離子,加溫后能夠轉(zhuǎn)化成三甲胺汽體和乙醇汽體且沒留一切印痕,可廣泛運(yùn)用于當(dāng)代電子產(chǎn)業(yè)。顯影液的主要成分是堿,原先應(yīng)用的堿是無機(jī)堿KOH,伴隨著高新科技的發(fā)展,集成電路的設(shè)計(jì)方案生產(chǎn)制造需考慮各種各樣繁雜的加工工藝標(biāo)準(zhǔn),對(duì)化工品殘?jiān)?guī)定愈來愈嚴(yán)苛。以前用的顯影液是KOH等無機(jī)堿,顯影液后必須用很多的水開展清洗基鋼板,還不可以確保K+可以完全清洗整潔。金屬離子的過多殘余就不能滿足一些嚴(yán)苛的加工工藝標(biāo)準(zhǔn),如單獨(dú)生產(chǎn)制造模塊中電子元件的總數(shù)愈來愈多,圖形界限愈來愈窄,變成牽制電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的一個(gè)不可忽視的短板,而TMAH恰好擺脫了KOH的缺陷,無金屬離子,高溫溶解沒有殘留。